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超高真空加熱與操控元件- 歐斯特科技有限公司
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超高真空抽氣系統- 歐斯特科技有限公司
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客製化真空腔體- 歐斯特科技有限公司
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離子光束沉積系統- 歐斯特科技有限公司
www.aust-vsic.com【產品名稱】; 離子光束沉積系統. 【設備說明】 。終極真空壓力≦E-10 Torr. 。≦6吋 樣品載台 。加熱器溫度. 900℃ 。樣品載台升降≧±25mm 。樣品旋轉速度0~60 rpm. 。≦4吋靶材載台 。4 個靶材載台 。流量計 。離子源 。傳輸腔體. 【應用範圍】 。鋁, 金, 無定形碳, 鑽石, 鈷, 鉻, 銅, 鐵, 砷化鎵, 氮化鎵, 鍺, 鉬, 鈮, 镍, 鈀, 鉑, 釕, 銠, 錸, 矽, 氮 化矽, ...